Carbide silicon (sic), như một vật liệu gốm tiên tiến hiệu suất cao, được sử dụng rộng rãi trong nhiều lĩnh vực công nghiệp do tính chất vật lý và hóa học tuyệt vời của nó
Sản xuất chất bán dẫn và ngành công nghiệp điện tử
Các tấm cacbua silicon chủ yếu được sử dụng trong trường bán dẫn cho các thành phần chính của thiết bị sản xuất wafer, chẳng hạn như lò sưởi và chuck tĩnh điện (ESC) của etcher .
Khả năng kháng nhiệt độ cao và khả năng chống ăn mòn trong huyết tương: SIC có thể chịu được nhiệt độ lên tới 1600 độ và khí ăn mòn cao (như flasma flo) trong các quá trình bán dẫn, và tuổi thọ của nó vượt xa so với thạch anh truyền thống hoặc nhôm .}
Độ tinh khiết cao và ô nhiễm thấp: Hòa tính hóa học đảm bảo rằng không có ô nhiễm kim loại trong quá trình sản xuất wafer, phù hợp để sản xuất chất bán dẫn thế hệ thứ ba (như chip GaN và sic) .}
Ưu điểm quản lý nhiệt: Độ dẫn nhiệt cao (120-270 w/m · k) có thể làm tan nhiệt đều và cải thiện năng suất chip .
Lò công nghiệp nhiệt độ cao và xử lý nhiệt
Các tấm silicon cacbua là vật liệu lý tưởng cho lò nung, đường ray và tấm chống cháy, và thường được sử dụng trong thiêu kết gốm, xử lý nhiệt bằng thép và sản xuất pin mặt trời .}
Tính ổn định lâu dài: Không dễ biến dạng trong việc oxy hóa hoặc giảm khí quyển ở mức 1400-1600 và tuổi thọ dịch vụ có thể đạt hơn 5 lần so với các vật liệu chịu lửa truyền thống .}}}}}}}}}}}}}}
Hiệu ứng tiết kiệm năng lượng: Độ dẫn nhiệt cao tăng tốc truyền nhiệt và giảm mức tiêu thụ năng lượng; Hệ số giãn nở nhiệt thấp (4 . 0 × 10⁻⁶/ độ) Tránh bị nứt nhiệt.
Kịch bản ứng dụng: Ví dụ, các lò silicon polycrystalline trong ngành công nghiệp quang điện đòi hỏi các tấm SIC để chống ăn mòn silicon nóng chảy và duy trì độ chính xác kích thước .}
Thiết bị hóa học và chống ăn mòn
Trong ngành hóa chất,tấm silicon cacbuađược sử dụng cho lớp lót lò phản ứng, ống và con dấu để đối phó với axit mạnh (axit sunfuric, axit hydrofluoric), kiềm mạnh, và môi trường nhiệt độ cao và áp suất cao .
Hòa nhập hóa học: SIC gần như không có khả năng trong phạm vi pH của 0-14, tốt hơn thép không gỉ và Hastelloy .}
Sức mạnh cơ học: Độ bền uốn đạt đến 400-600 MPa, có thể chịu được tác động cơ học của lò phản ứng .
Không gian vũ trụ và các bộ phận cấu trúc nhiệt độ cao
Các tấm cacbua silicon được sử dụng trong vòi phun tên lửa, tấm chắn nhiệt và lưỡi tuabin khí trong hàng không vũ trụ .
Hiệu suất nhiệt độ cực cao: Nó vẫn duy trì sức mạnh ở 2000 độ và điểm nóng chảy cao tới 2700 độ, phù hợp với cạnh hàng đầu của máy bay siêu âm .}
Nhẹ: Mật độ (3 . 1 g/cm³) thấp hơn so với hợp kim vonfram, làm giảm tải.
Công nghệ bảo vệ môi trường và năng lượng mới
Trong lĩnh vực năng lượng mới, các tấm cacbua silicon được sử dụng trong quang điện, năng lượng hạt nhân và xử lý khí thải:
Công nghiệp quang điện: Là một lớp phủ nồi nấu kim loại cho các lò tăng trưởng polysilicon để giảm độ bám dính vật liệu silicon, các bộ lọc gốm SiC được sử dụng để loại bỏ bụi khí thải nhiệt độ cao (như các nhà máy đốt chất thải) .
Lò phản ứng hạt nhân: Các tấm hấp thụ neutron sic có thể kiểm soát tốc độ phân hạch hạt nhân và điện trở bức xạ của chúng tốt hơn so với than chì .
Năng lượng hydro: Trong màng trao đổi proton (PEM) để sản xuất hydro bằng điện phân nước, các tấm SIC có khả năng chống axit và có độ dẫn tuyệt vời .
Với sự tiến bộ của công nghệ chuẩn bị SIC (như thiêu kết phản ứng và CVD), chi phí của nó dần dần giảm và các khu vực ứng dụng của nó sẽ được mở rộng hơn nữa thành các trường tiên tiến như điện toán lượng tử và Biomedicine .